Присутствие активных место неизбежно приводит к нежелательному эффекту необратимой адсорбции большинства интересующих аналитика загрязнителей. Поэтому перед отбором пробы канистры очищают, используя последовательно серию процессов вакуумирования — заполнения с помощью мембраны и турбомолекулярного насоса. Благодаря использованию «немасляного» насоса и влажного ультрачистого азота происходит насыщение остаточных активных мест, все еще присутствующими на поверхности молекулами воды. Такая пассивация (очистка) позволяет достичь очень низких содержаний (суб-ppb) остаточных количеств ЛОС в конце цикла очистки.
Скачать страницу
[Выходные данные]
